日本KOFLOC DF550C系列质量流量控制器-金属密封数字式
DF550C是基于DF200C基础上的金属密封产品，它除开拥有DF200
的高精度、高速度性能之外 ，在泄漏率方面做的更低，非常适用于
高真空 、强腐蚀、剧毒气体等等在对泄漏率有高要求场合
泄漏率：1*10-11pa·m³/s以下
金属密封，适用于对泄漏率有高要求场合
DF550C系列质量流量控制器-金属密封数字式
量程(N2)
10SCCM-10SLPM
气体
所有气体
精度
±1.0%FS
重复性
±0.25%FS
有效范围
2-100%
响应时间
1秒以内
耐压
1.0Mpa
进口最大压力
0.5Mpa
工作压差
0.05-0.3Mpa
泄漏率
1*10-11pa·m³/s以下
温度范围
5~50℃
精度保证温度
15~35℃
保存温度
-10~60℃
湿度范围
10-90%RH(不能结露)
材质
本体SUS316L
密封圈SUS316L
电气接口
DB9
通讯接口
RS485(RJ45接口)
模拟信号
0-5V输入/输出
供电
+24VDC(±10%)300mA ；±15VDC(±10%)300mA
管路连接
标配1/4UJR
重量
约1100g
DB9针脚定义：
针脚/颜色
定义
1针脚/棕色
阀门全开/全闭
2针脚/白色
0-5V输出
3针脚/红色
+15VDC 或+24VDC
4针脚/黑色
电源COM 或 空
5针脚/黄色
-15VDC 或 电源地
6针脚/灰色
0-5V输入
7针脚/绿色
输出COM
8针脚/兰色
输入COM
9针脚/紫色
阀门电源输出
RJ45针脚定义：
针脚
1针脚
485COM
2针脚
3针脚
空
4针脚
485-
5针脚
485+
6针脚
7针脚
8针脚
一 ：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水) 、杂质粉尘不超过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上 ，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四 ：耐压1.0Mpa，进口最大压力5公斤。
五：需要进行零点漂移清零的时候 ，确认进/出口没流量没压力下 再操作。