日本KOFLOC 5410系列质量流量计-金属密封
金属密封，泄漏率1*10-11pa·m³/s以下
适用于高真空、半导体、剧毒 、强腐蚀气体环境下
±15VDC供电性能稳定 ，0-5V模拟信号更加通用
5410质量流量计
量程(N2)
10SCCM-20SLPM(另外50SLM ，来电咨询)
精度
±1.0%FS
重复性
±0.2%FS
响应时间
1秒以内
耐压
1.0Mpa
进口最大压力
O.5Mpa
泄漏率
1*10-11pa·m³/s以下
温度范围
5-45℃
湿度范围
10-90%RH(不能结露)
材质
本体SUS316L
密封圈SUS316L、PTFE
电气接口
DB9
模拟信号
0-5V输出
供电
+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)100mA；
管路连接
标配1/4UJR
选配1/8UJR
重量
约800g
针脚/颜色
定义
1针脚/棕色
空
2针脚/白色
3针脚/红色
+15VDC
4针脚/黑色
电源COM
5针脚/黄色
-15VDC
6针脚/灰色
7针脚/绿色
输出COM
8针脚/兰色
9针脚/紫色
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不超过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不超过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四 ：耐压1.0Mpa ，进口最大压力5公斤 。
五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。